| 
|
| Side profile of a UHV Cryogenic Probe Station | High Conductance 8” Vacuum Pump Out Port |
美国ARS公司的 PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和***真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF），MEMS， 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。
液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。
该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。
该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并****保证了样品的洁净度。
ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。
应用案例：
l 电磁特性
l 微波特性
l 低频，高频特性
l MEMS
l 纳米电子学
l 超导特性
l 纳米器件光电性能
l 量子点及纳米线
l 单电子
l 低电流物理特性
典型结构
l 液氦/液氮型低温恒温器
l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）
l 流量计
l 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑
l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏
l 2.25英寸的无氧铜接地样品座
l DC， 微波或光纤探针
l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视
l 涡轮分子真空泵
l 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆
l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源
特点 | 备注 |
8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏 |
|
2.25英寸镀金无氧铜样品台 | 可升级4英寸样品台 |
高纯石英观察窗 |
|
蓝宝石防热辐射屏冷窗 |
|
标配4个三维微操作探针臂，可选6-8个 |
|
可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂 |
|
控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器 | 温度计安装位置： 1、冷头温度计，用于诊断 2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温 3、样品温度计，用于精确测量样品温度 4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样 |
样品台综合振动 < 1微米 | 样品台振动 < 100nm |
7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源 | 可升级16:1显微观察系统 |
规格及技术参数 |
|
制冷方式 | 开环恒温器，液氦/液氮 |
温度范围 | 液氦~3.5K - 400K（最大流量）(可选500K，800K) 液氮~77K - 400K(可选500K，800K) |
温度稳定性 | 优于50mK |
泵抽真空时间 | 机械泵约45分钟 分子泵约10分钟 |
降温时间 | 约30到45分钟降温到4.5K |
真空腔 | 焊接法兰，不锈钢真空腔 直径11.97英寸（304mm） 上盖安装高纯石英窗口 |
防热辐射屏 | 镀镍无氧铜防热辐射屏 直径8英寸 上盖蓝宝石冷窗 |
样品台 | 镀金无氧铜样品台 2.25英寸直径 |
样品台连接 | 接地（标准） 绝缘（可选） 偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选） 偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选） |
探针臂位移台 | 手动驱动 焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管连接 X方向（轴向）2英寸行程 Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 灵敏度5微米 |
振动 | 样品台综合振动优于1微米 |
温度计安装 | 4个温度计，2套加热器 4个温度计位置： 1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温 1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温 1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断 1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置： 1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温 1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温 |
显微观测系统 | 标准7:1显微镜 4.2毫米-0.61毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.024-0.08 光源：环形光源 分辨率：3微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜 12.8毫米-0.8毫米视野 工作距离：89毫米 数值孔径：0.0090-0.15 光源：环形光源 分辨率：2微米 安装手动三维位移台 高分辨率24英寸显示器 |
探针臂 |
|
直流/低频探针臂 | 微型同轴电缆 接头：SMA或BNC 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 包含接地屏蔽接头 三同轴电缆 接头：三同轴接头 频率：0-100兆赫兹 阻抗：50欧姆 卡尔文探针 电缆：同轴或三同轴 接头：SMA/BNC/三同轴 频率：0-100兆赫兹 针尖材料： 钨针（标准） 镀金钨针（可选） 铍铜镀金（可选） 针尖半径： 0.5微米（其他半径可选） |
GSG高频探针臂 | 0-40GHz 接头：K型接头 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz 接头：2.4 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz 接头：1.85 电缆：半刚性同轴电缆 针尖：钨针或铍铜针尖 |
光纤探针臂 | 紫外/可见 或 可见/红外 接头：SMA905公头 光纤样品端：抛光裸头 尺寸：100微米-400微米 |
